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　　針孔的發(fā)生實(shí)際上和膜層與基板結(jié)合的結(jié)實(shí)度有直接關(guān)系。因而，操控好基板清潔度和操控好膜層的質(zhì)量對(duì)減少針孔起到很好地促進(jìn)作用。

　　1.錫槽光畸變點(diǎn)是發(fā)生針孔的主要原因

　　（1）大多數(shù)針孔的發(fā)生基本上是由于錫槽氣氛不好，構(gòu)成硫化亞錫或氧化亞錫揮發(fā)物，墜落到玻璃板上導(dǎo)致玻璃存在光畸變點(diǎn)造成的。而大多數(shù)偽針孔基本是錫槽低溫區(qū)墜落物造成的。

　　（2）有光畸變點(diǎn)位置的膜層附著不結(jié)實(shí)，會(huì)發(fā)生掉落，然后發(fā)生針孔。在鍍膜器后的低溫區(qū)發(fā)生的硫化物掉落掉到膜層上，有或許會(huì)因重力損壞膜層，也或許附著在膜層外表。當(dāng)附著在膜層外表時(shí)，會(huì)損壞表層膜層質(zhì)量，當(dāng)鋼化時(shí)變薄的膜層會(huì)因氧化構(gòu)成偽針孔。

　　2.鍍膜系統(tǒng)維護(hù)不到位會(huì)導(dǎo)致針孔的發(fā)生

　　（1）鍍膜進(jìn)氣管路里的粉塵導(dǎo)致

　　當(dāng)管路里呈現(xiàn)滲漏或氣體不純，硅烷會(huì)與氧氣發(fā)生反響，構(gòu)成粉塵。鍍膜時(shí)粉塵會(huì)隨反響氣體一起經(jīng)鍍膜器噴射到玻璃板上。粉塵和玻璃板結(jié)合不結(jié)實(shí)掉落構(gòu)成針孔。因而要定時(shí)整理管路。一起鍍膜間隔超過(guò)1周以上時(shí)有必要對(duì)管路進(jìn)行檢漏。氣密性實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)及時(shí)處理。一起更換氣瓶及氣瓶組時(shí)，增加置換次數(shù)并測(cè)漏，避免空氣進(jìn)入。

　　（2）鍍膜器整理不潔凈會(huì)導(dǎo)致針孔的發(fā)生

　　當(dāng)鍍膜器及冷卻設(shè)備整理不潔凈時(shí)，會(huì)發(fā)生和管路整理不潔凈同樣的問(wèn)題。附著的粉塵會(huì)墜落到玻璃板上、膜層里或膜層上，然后導(dǎo)致針孔的發(fā)生。

　　3.鋼化后呈現(xiàn)針孔

　　硅質(zhì)膜的沉積一般在650℃左右的玻璃上進(jìn)行。這種條件下鍍的硅膜通常是非晶，遠(yuǎn)勝于晶體膜。這種膜層有兩個(gè)特色，一是呈現(xiàn)H懸掛鍵，二是Si-Si鍵比較弱。當(dāng)鋼化溫度過(guò)高時(shí)，會(huì)造成膜層氧化現(xiàn)象。

　　針孔和膜層結(jié)構(gòu)、錫槽大環(huán)境有關(guān)，是影響在線硅質(zhì)陽(yáng)光鍍膜發(fā)生的主要原因。只要理解針孔構(gòu)成的機(jī)理，就能找到其缺陷構(gòu)成的原因，然后減少缺陷的發(fā)生。

　　文章源自：中山玻璃加工

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